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KLA的退出提高了国产量测设备环节的重要性，国产量测设备有望进入国产替代加速期，中微22年对睿励仪器追加 亿元现金投资，持股比例从20.4%变更为29.4%，持续投资布局工艺检测设备领域，有望成为国产量测设备主力，同时与制造设备形成良性协同作用。 风险提示：下游需求不及预期；新产品研发失败风险；行业竞争加剧风险等。公司MOCVD在Mini-LED中的蓝绿光生产线取得绝对领先地位，针对Micro-LED的新品设备也在积极研发，布局于金属钨填充的LPCVD设备、锗硅外延生长的Epi设备和原子层沉积的ALD设备研发顺利，部分已经进入样机制造和调试阶段，预计将于23年陆续推出，有望成为公司新的业务成长点。我们预计2 2-2 4年公司归母净利润为1 19/15.59/19.22亿元，根据相对估值，目标价为15 7-16 8元，上调至“买入”评级。公司主营等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备以及空气净化设备，产品覆盖了半导体集成电路制造、先进封装、LED生产、MEMS制造等领域
量测设备贯穿整个晶圆制造环节，设备价值约占产线价值的13%，也是前道国产化率最低的环节之一，截至2 2年国产化率仅约1%。 MOCVD设备保持领先地位，LPCVD、EPI、ALD有望成为业绩新增长点。公司2 2年全年预计实现营收47.4亿元，同比增长5 5%，实现归母净利润区间为1 70亿元，同比增长15.66%；实现扣非归母净利润9.19亿元，同比增长18 44%。 投资布局量测设备，有望成为国产替代新军主力。 盈利预测与估值：目标价15 7-16 8元，上调至“买入”评级
刻蚀机业务高速发展，CCP市占率不断提升，ICP设备快速放量。中微成立于20 年，公司核心高管及技术人员多数具有国际半导体大厂从业经验，CEO尹志尧博士是近300项海内外专利的主要发明人。公司CCP设备性能先进，在国产设备中处于绝对领先地位，已切入国际知名厂商5nm产线，国内市场份额持续提升，2 2年公司已累计有2320个反应台在生产线运转；ICP设备2 2年上半年收入 13亿元，同比增长41 %，截至2 2年6月底，ICP Nanova设备已经顺利交付超过220台反应腔，在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。截至2 2年中，本土刻蚀设备国产化率约两成，中美贸易摩擦持续刺激国产设备的需求，公司作为国产刻蚀设备龙头有望持续受益
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